磁性屏蔽室 - 电子束应用

用于电子束应用的磁屏蔽室
现代研究涉及的是微小结构，通常是原子尺度的尺寸。研究仪器对任何干扰都特别敏感，如气候变化、声音、振动、机械冲击和磁场。因此，需要有磁保护实验室，将这些干扰降到最低。磁场可以通过被动屏蔽、主动消除或两者结合来减少。
 
LabShield^® 是一种基于高导磁率金属的磁屏蔽系统，可以屏蔽整个房间的静态直流、缓慢变化的直流、电磁交流和直流杂散场。这些磁场来自磁铁、移动的金属物体（如汽车和电梯）和电气元件（如变压器、电缆、配电盘和头顶高压电线）。
 
Systron 公司基于成熟的屏蔽系统 LabShield^® 单独设计磁屏蔽室。LabShield^® 是一种磁屏蔽系统，设计用于减弱静态直流电、缓慢变化的直流场位移和交流杂散场。用于电子束应用的磁屏蔽室是一种安全可靠的方法，可以保护敏感工具，如电子显微镜、电子束写入器和聚焦离子束免受不必要的电磁场影响。
 
通过 LabShield^® 系列屏蔽产品可以满足各种房间和基础结构的要求，不管是屏蔽需要在基础结构下面还是在基础结构上面，还是需要在房间里设计。
 
 
磁性屏蔽室 - 电子束应用
借助当今的电子显微镜和试验工具，研究人员正在原子尺度上分析结构。然而，在实验过程中，电子束的偏移可能会破坏完整的结果。使用 LabShield^® 后整个房间都能受到磁场的保护。LabShield^® 提供了一个灵活的概念，可以很容易地根据当地的情况和技术要求，如门和墙的突破或机械阻尼。通常情况下，会添加有源磁场消除系统，以支持房间屏蔽。
 
LabShield^® 以高质量的高导磁金属为基础。然而，在某些应用中，硅铁或纯铁也可作为补充使用，也经常与铝结合使用。LabShield^® 也适用于无尘室应用，如半导体制造环境，磁屏蔽室保护免受磁源的影响，如变压器、开关设备、配电盘、电缆、架空线、有轨电车、铁路、电梯、核磁共振和磁铁等。
 
在苏黎世的 Binnig und Rohrer 纳米技术中心，建立了“无噪音”实验室，用于存放电子显微镜、光刻机和实验工具等及其敏感的设备。为了确保使用这些工具得到最好的结果，实验室必须受到电磁和磁场杂散场的保护。对于 16.7Hz 铁路和 50Hz 电源频率的磁场中，规格要求在电压 <5nT，为了满足这一极具挑战性的要求，实验室采用了 LabShield^® 的被动屏蔽方法，这是一种基于高导磁金属和铝的磁性屏蔽系统。
 
因此，房间被高导磁金属和铝板完全屏蔽。为了达到好的性能，铝板经过焊接，使整个表面形成好的导电性。通过这些材料的综合使用，实现了极低的磁场水平。此外，一些实验室甚至补充了主动消磁系统，第三方测量证实了磁场的水平低至 <2nT。