光刻机磁屏蔽室

光刻机磁屏蔽室
有了磁屏蔽室—电子束应用（如电子显微镜、电子束光刻机、电子束掩模检查）可以安全地免受电磁杂散场的影响。
 
此外，磁屏蔽室还用于使磁场远离敏感的医疗应用，如脑电图、EEG、心电图、ECG、EMG和肌电图。
 
屏蔽室可以是独立的框架，但也可以整合为墙面 / 地面 / 天花板安装系统。根据应用和现有的杂散场，可选择高导磁金属板或者硅铁板。有了屏蔽室屏蔽缓慢变化的直流和交流电场，如磁铁、汽车、电梯、电缆盘、母线、变压器、架空线、铁路和有轨电车产生的场。
 
注：虽然 MuMETAL^® 金属能有效地屏蔽缓慢变化的直流电场，但必须注意的是硅铁绝对不会减少缓慢变化的直流电场或近直流电场。
 
 
光刻机 / 掩膜写入室的磁屏蔽装置
为了防止光刻机 /掩模写入器受到电磁干扰，几个掩膜制作室必须用高导磁金属进行磁屏蔽。这些房间符合 ISO 3 级洁净室规范，例如，规定每平方米不超过 35 个大于 0.5 μm 的颗粒。
 
尽管建造高导磁金属、镍铁导磁合金和屏蔽室是一项挑战，但是在洁净室环境中设计和制造中高导磁金属屏蔽室本身就是一项任务。未了满足洁净室 3 级规范，不仅要求材料是清洁的，还必须是与洁净室兼容。
 
 
送料机一体化屏蔽设计
在这个特殊的掩膜写入器应用中，样品本身完全被安装在屏蔽室里，位于一个混凝土基础上。然而，送料机仍然可以从外面进入到屏蔽室内，保持完全畅通无阻。这种特殊的“送料机集成”屏蔽设计是由 Systron 开发的，用于对屏蔽衰减、房间清洁度和工具可维修性要求非常高的应用。
 
在生产过程中，工具室从不进入，且一直保持上锁状态。只有需要维修的情况下，才可进入该房间。通过送料机的继承设计，口罩可以从外部装载，然后自动拉到屏蔽室内的真空室。洁净室中的磁屏蔽室是个很大的挑战，但 Systron 能提供成熟经济的解决方案。