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TEM 磁屏蔽室

TEM磁屏蔽室
显微镜室的屏蔽版
混凝土基础的屏蔽室
电子显微镜的磁消除系统
带 X、Y、Z 线圈的主动补偿系统
用于电子束的Mu金属屏蔽室

  • TEM 磁屏蔽室的概况 -


    TEM 磁屏蔽室
    在德雷斯顿技术大学,两间电子显微镜室已经被 LabShield® 屏蔽系统进行了磁屏蔽。因为附近的有轨电车产生了巨大的直流位移,所以磁屏蔽是必要的。此外,从室内电气系统和周围电气设备产生的局部交流场也必须被屏蔽。
     
    为了获得好的衰减效果,我们在地板上、墙壁和天花板上采用了高导磁金属(也称为镍铁导磁合金),只留了几个开口作为介质进料槽和地基。由于需要大的性能,门也是完全屏蔽的,未使用的进料口用金属板覆盖。
     

    高导磁金属屏蔽
    使用高导磁金属的挑战在于高导磁金属在运输和安装过程中都不能受到压力。如果高导磁金属受到任何压力,它就会永久失去磁性,从而失去屏蔽性能。凭借多年来积累的知识,Systron 能够在不改变屏蔽性能的情况下规划、设计和安装房间屏蔽系统,但是,为了确保材料不产生应力,必须进行许多开发。
     
    如今,通过软件建模可以很好地预测 LabShield® 屏蔽室的最终性能,因此,性能也可以得到保证。为了验证功能,在屏蔽工作完成后要进行测量。
     
     
    磁补偿系统
    磁补偿系统也称为磁消除主动补偿系统,是为降低低频杂散磁场而开发的。有了这些补偿/消除系统,基于电子或聚焦离子束的电子显微镜、电子束光刻机和其他工具就可以安全地使用,免受这些杂散场的影响。
     
    补偿系统通常会降低 0.01Hz 至 1000Hz 频率范围内的低频磁场。然而,有些系统也能消除较高频率的磁场。这些磁场通常是由移动的汽车、电车、电梯、扫地磁铁、铁路、变压器、开关装置、母线和架空线等电气装置引起的。
     
    补偿系统在低梯度的均匀场中效果最好。这通常适用于像电车、铁路和架空线路这样的远距离声源。也就是说,对母线、电缆和变压器等局部声源场的消除有一定的限制。

  • TEM 磁屏蔽室的优势 +

  • TEM 磁屏蔽室的性能 +

  • TEM 磁屏蔽室的指标 +

主动磁力补偿系统,线圈的独立框架

自旋式扫描电镜的消除系统

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